智能工業(yè)相機：芯片半導(dǎo)體晶圓拋光表面清潔度缺陷的視覺檢測應(yīng)用
廣州一諾智能科技在機器視覺領(lǐng)域服務(wù)近10年，擁有豐富的機器視覺應(yīng)用經(jīng)驗。今天我們來共同欣賞Baumer與芯片晶圓制造的應(yīng)用。一個納米級的小小芯片，匯聚地球人類最尖端的智慧，芯片已經(jīng)成為科技行業(yè)炙手可熱的產(chǎn)品，芯片的制造需要通過大晶圓的切割再制成一各個小片，再進(jìn)行封裝。
晶圓的制作過程中有一步非常關(guān)鍵的步驟——CMP機械化學(xué)拋光，它能夠有效提高晶圓的表面光潔度從而提升導(dǎo)電率，而堡盟XF100M03W10EP工業(yè)相機就工作在這步關(guān)鍵CMP工藝中。
監(jiān)測芯片拋光，守護(hù)晶圓質(zhì)量
芯片產(chǎn)品的制作離不開晶圓材料的支持，晶圓則需要CMP機械化學(xué)拋光來提高其表面的電導(dǎo)率，通過CMP可以得到像鏡子一樣光閃閃的晶圓表面。
但是由于晶圓在拋光時表面最初沒有那么平整，因此摩擦過程中會產(chǎn)生殘存硅片滯留在拋光布上，如果沒有能及時檢測并清理這些碎片，會對晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量造成損害，影響到最終產(chǎn)品良率。
堡盟XF100M03W10EP在這個晶圓拋光的監(jiān)測項目中充當(dāng)了守門員的角色，展現(xiàn)出了強大的設(shè)備優(yōu)勢：
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采用集成式相機不僅安裝簡便，而且成像清晰檢測穩(wěn)定，最小可檢測1.5*1.5mm碎片；
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擁有缺陷存儲報警功能，可以追溯碎片發(fā)生瞬時情況，有利于追溯碎片原因；
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XF相機可以采用頂部懸掛的方式，貼邊安裝，進(jìn)一步節(jié)約解決方案的節(jié)空間；
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由于采用一體式智能相機硬件檢測，接線方便，后續(xù)維護(hù)方便。
實際工作過程也相當(dāng)順暢，當(dāng)拋光布工作高速旋轉(zhuǎn)時，其設(shè)計速度達(dá)到了80r/min，堡盟XF相機在監(jiān)測中的第一次拍攝上只選擇了一小部分區(qū)域，多次拍攝可以完成整張布的監(jiān)測，拋光布有白色與黑色兩種顏色，在實際拍照檢測中不會受到顏色的影響，并且結(jié)果輸出很快，拋光布表面的水膜也不會影響檢測過程與結(jié)果。
繼承家族優(yōu)良設(shè)計，技術(shù)賣點全面
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堡盟XF100M03W10EP，是堡盟VeriSens工業(yè)相機家族中的產(chǎn)品，繼承了一貫的優(yōu)良設(shè)計，擁有出色的性能，小巧的外觀和較好的耐用性，XF字頭代表“擴展功能”寓意，該系列產(chǎn)品功能強大，一旦部署就相當(dāng)于立刻擁有了圖像處理所需要的一切。
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XF 系列擁有很高的靈活性，專門應(yīng)對不同顏色的圖像分析，包括黑白或彩色圖像，其包含所有 VeriSens® 的特征監(jiān)測功能有22 項之多，并且始終提供適用的圖像工具。只需一個傳感器就足以同時完成多項檢查，比如物體特征與位置檢查以及文本(OCR /OCV)和一維/二維碼讀取等等。
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它集成了光學(xué)元件：8 | 10 | 12 | 16mm，還集成了 LED 光源(白光或紅外線)。其自身集成的日光濾光片的紅外光源具有多項應(yīng)用優(yōu)勢，能夠盡可能地抑制環(huán)境光的影響，從而突顯物體的特征。
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外殼采用鋁IP67或不銹鋼 IP69K的高防護(hù)等級的材質(zhì)。
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XF 系列的所有產(chǎn)品均集成 FEXLoc® 360° 目標(biāo)定位功能，確?？煽康哪繕?biāo)識別。
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此外，VeriSens® 光源頻閃不會干擾附近的工作人員。
芯片行業(yè)火爆，行業(yè)前景不容置疑
芯片行業(yè)目前是全世界關(guān)注的行業(yè)，行業(yè)呈現(xiàn)高速發(fā)展態(tài)勢，無論是國際還是國內(nèi)，都在積極的布局新一代芯片制造生產(chǎn)線。大量的新能源汽車，新家電，電腦，游戲機，相機，手機，都離不開芯片的支持，可以說沒有芯片就沒有我們現(xiàn)在的信息生活。堡盟的XF100M03W10EP憑借出色的產(chǎn)品設(shè)計和可靠的項目表現(xiàn)，相信在未來也會在芯片與晶圓制造產(chǎn)業(yè)中也將擁有更多屬于自己大展拳腳的機會。
Baumer堡盟的VeriSens智能相機，只需一只傳感器，便能完成基于圖像的質(zhì)量控制，借助VeriSens應(yīng)用程序包，只需幾分鐘即可輕松完成設(shè)置可提供23項高效的特征檢查，輕松勝任各種檢測任務(wù)數(shù)字輸入輸出（I/O）以及工業(yè)以太網(wǎng)提供了多種連接選項。廣州一諾智能科技為客戶提供了近10年的Baumer堡盟的VeriSens智能相機服務(wù)，該產(chǎn)品性能穩(wěn)定，功能強大且豐富，其質(zhì)量性能好，操作簡單，銷售幾百臺該類相機基本無售后問題，是高質(zhì)量設(shè)備的首選視覺解決方案。更多的智能相機應(yīng)用解決方案，請與廣州一諾智能科技交流，共同打造高質(zhì)量穩(wěn)定的機器視覺應(yīng)用解決方案。
相機.jpg "Baumer相機，Baumer工業(yè)相機，瑞士堡")
